Parlatma tozu genellikle cerium oksit (VK-CE01), Alümina (VK-L30F), silikon oksit (VK-SP50F), demir oksit, zirkonyum (VK-R30F), krom oksit ve diğer bileşenlerden oluşur, farklı malzemelerin farklı sertlikleri vardır, kimyasal özellikleri suda da farklıdır, bu nedenle kullanım alanı da farklıdır. Alümina ve krom oksidin Mohs sertliği 9, cerium oksit ve zirkonyum 7'dir ve demir oksit daha düşüktür.

Seriy oksit ve silikat cam yüksek kimyasal aktiviteye ve eşdeğer sertliğe sahip olduğundan, cam cilalamada yaygın olarak kullanılır. Seriy oksidin cilalama hızını artırmak için genellikle florür seriy oksit cilalama tozuna eklenir ve taşlama hızını artırır.

Karışık nadir toprak parlatma tozu genellikle düşük cer içeriği ile karıştırılır, 3-8 florür ile karıştırılır ve saf cer oksit parlatma tozu genellikle florür ile katkı yapılmaz. ZF veya F serisi Cam için, kendi sertliği küçük olduğundan ve malzeme kendisinin yüksek flor içeriğine sahip olduğundan, florürsüz parlatma tozunun seçimi iyidir.