抛光粉通常由氧化铈（VK-CE01）、氧化铝（VK-L30F）、二氧化硅（VK-SP50F）、氧化铁、氧化锆（VK-R30F）、氧化铬等成分组成，不同材料的硬度不同，在水中的化学性质也不同，因此使用的场合也不同。氧化铝和氧化铬的莫氏硬度为9，氧化铈和氧化锆为7，氧化铁较低。

氧化铈和硅酸盐玻璃具有高化学活性和等硬度，因此被广泛用于玻璃抛光。为了提高氧化铈的抛光速度，通常会向氧化铈抛光粉中添加氟，以增加研磨速率。

低铈含量的混合稀土抛光粉通常与3-8氟混合，而纯铈氧化物抛光粉通常不掺杂氟。对于ZF或F系列玻璃，由于其自身硬度较小，并且材料本身含氟量较高，因此选择不含氟的抛光粉是不错的选择。