研磨粉通常由氧化铈（VK-CE01）、氧化铝（VK-L30F）、二氧化硅（VK-SP50F）、氧化铁、氧化锆（VK-R30F）、氧化铬等成分组成，不同材料的硬度不同，在水中的化学性质也不同，因此使用的场合也不同。氧化铝和氧化铬的莫氏硬度为9，氧化铈和氧化锆为7，氧化铁较低。

セリウム酸化物と珪酸ガラスは化学活性が高く、同等の硬度を持っているため、ガラス研磨に広く使用されています。セリウム酸化物の研磨速度を向上させるために、通常、フッ素がセリウム酸化物研磨粉に添加されて研削速度を増加させます。

低セリウム含有量の混合希土類研磨粉は通常3-8フッ素と混合され、純セリウム酸化物研磨粉は通常フッ素でドープされていません。ZFまたはFシリーズガラスの場合、硬度が小さく、材料自体に高いフッ素含有量があるため、非フッ素研磨粉の選択が良いです。